Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX20原子力顯微鏡作為缺陷形貌分析的精密測(cè)量?jī)x器，可進(jìn)行大型樣品精密測(cè)量并憑借著高精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓，且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗(yàn)室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。

Park NX12原子力顯微鏡力求重新構(gòu)建，以適應(yīng)許多用戶設(shè)備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性，難以滿足該設(shè)備中用戶的多重需求，很難合理控制設(shè)備成本。然而，Park NX12旨在能夠容納標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境原子力顯微鏡成像，液體掃描探針顯微鏡，光學(xué)和納米光學(xué)成像，使其成為靈活的原子力顯微鏡之一。

Park NX7原子力顯微鏡 配有Park原子力顯微鏡前沿技術(shù)，其設(shè)計(jì)與新型顯微鏡一樣彰顯細(xì)節(jié)品質(zhì)，可以有效助您取得精準(zhǔn)的研究成果。